Project title/計畫英文名
先進CMOS元件及製程研究-子計畫一:適用於低溫基板製程之高品質絕緣膜形成技術(2/3)
Project Number/計畫編號
95-2221-E-002-358-
Translated Name/計畫中文名
先進CMOS元件及製程研究-子計畫一:適用於低溫基板製程之高品質絕緣膜形成技術(2/3)
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2006
Expected Completion/計畫迄
31-07-2007