Project title/計畫英文名
邁頂人力結構改善/電子所/以接地金屬奈米結構防止電子束微影、掃描電子顯微鏡及聚焦離子束系統中之基板電荷累積
Project Number/計畫編號
10R40044(管傑雄)
Translated Name/計畫中文名
邁頂人力結構改善/電子所/以接地金屬奈米結構防止電子束微影、掃描電子顯微鏡及聚焦離子束系統中之基板電荷累積
Project Principal Investigator/計畫主持人
CHIEH-HSIUNG KUAN
Funding Organization
Start date/計畫起
19-12-2011
Expected Completion/計畫迄
18-12-2012