Project title/計畫英文名
奈米壓印系統設備開發及製程研究-子計畫二:奈米壓印用母模研製與元件製作量測
Project Number/計畫編號
93-2218-E-002-018-
Translated Name/計畫中文名
奈米壓印系統設備開發及製程研究-子計畫二:奈米壓印用母模研製與元件製作量測
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2004
Expected Completion/計畫迄
31-07-2005