Project title/計畫英文名
學研合作計畫-高亮度13.5-nm極紫外光源之研發(3/3)
Project Number/計畫編號
101-2120-M-002-006-
Translated Name/計畫中文名
學研合作計畫-高亮度13.5-nm極紫外光源之研發(3/3)
Project Principal Investigator/計畫主持人
Funding Organization
Start date/計畫起
01-08-2012
Expected Completion/計畫迄
31-07-2013