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.National Taiwan University / 國立臺灣大學
Project / 研究計畫
以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發-子計畫一:應用於極紫外光平行直寫微影之光源相關技術的理論研究和實驗設計
以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發-子計畫一:應用於極紫外光平行直寫微影之光源相關技術的理論研究和實驗設計
Details
Primary Data
Project title
以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發-子計畫一:應用於極紫外光平行直寫微影之光源相關技術的理論研究和實驗設計
Internal ID
99-2221-E-002-212-
Principal Investigator
JIA-HAN LI
Start Date
August 1, 2010
End Date
July 31, 2011
Partner Organizations
National Science and Technology Council