Project title
積體電路相容微機電系統之研究-總計畫
Internal ID
93-2212-E-002-075-
Principal Investigator
Start Date
August 1, 2004
End Date
July 31, 2005
Partner Organizations
積體電路相容微機電系統之研究-總計畫
Keywords
積體電路
微機電
金氧半導體
感測器
致動器
integrated circuit
MEMS
CMOS
sensor
actuator