次波長貝索光束直寫儀的研究與開發：從奈米光學元件的理論與製造到系統性能驗證的研究

Project title

次波長貝索光束直寫儀的研究與開發：從奈米光學元件的理論與製造到系統性能驗證的研究

Internal ID

97-2221-E-002-159-MY3

Principal Investigator

Start Date

August 1, 2010

End Date

July 31, 2011

Partner Organizations

National Science and Technology Council