Project title
高精度共振微懸臂樑感測器之研發(國科會)
Internal ID
96R0044( 沈弘俊 )
Principal Investigator
Start Date
August 1, 2008
End Date
July 31, 2009
Partner Organizations
高精度共振微懸臂樑感測器之研發(國科會)
Keywords
微懸梁感測器
共振微懸臂樑感測器
雷
射都
卜勒
光學振動量
測儀
Micro-cantilever beam sensor
resonant MCB
MEMS-AVID