Project title
積體電路相容微機電系統之研究-子計畫四：積體電路相容微機電關鍵技術之研究(II)
Internal ID
93-2212-E-002-077-
Principal Investigator
Start Date
August 1, 2004
End Date
July 31, 2005
Partner Organizations
積體電路相容微機電系統之研究-子計畫四：積體電路相容微機電關鍵技術之研究(II)
Keywords
積體電路
微機電
感測器
致動器
無線通訊
光通訊
CMOS
MEMS
sensor
actuator
wireless
optical
communication