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.National Taiwan University / 國立臺灣大學
Project / 研究計畫
釕的化學機械研磨與作為銅阻障層之間Cu/Ru的電化學行為研究
釕的化學機械研磨與作為銅阻障層之間Cu/Ru的電化學行為研究
Details
Primary Data
Project title
釕的化學機械研磨與作為銅阻障層之間Cu/Ru的電化學行為研究
Internal ID
101-2221-E-002-161-MY2
Principal Investigator
SHI-CHERN YEN
Start Date
August 1, 2013
End Date
July 31, 2014
Partner Organizations
National Science and Technology Council