Project title
基於微機電系統技術之高產能多電子束平行寫入微影系統及製程技術之研發(2/2)
Internal ID
98-2622-E-002-003-CC1
Principal Investigator
Start Date
August 1, 2009
End Date
July 31, 2010
Partner Organizations
基於微機電系統技術之高產能多電子束平行寫入微影系統及製程技術之研發(2/2)
Keywords
電子束微影
奈米平台
多自由度
壓電致動器
PID控制
遲滯效應
Electron-beam lithography
nano stage
multi-d-o-f
piezoelectric
PID control
hysteresis