Project title
奈米級應力的探討以及其對於電子元件的應用最佳化
Internal ID
100-2221-E-002-253-
Principal Investigator
Start Date
November 1, 2011
End Date
October 31, 2012
Partner Organizations
奈米級應力的探討以及其對於電子元件的應用最佳化
Keywords
應變矽技術
機械應力
Strained Si Technology
Mechanical stress