國際合作研究計畫與境外頂尖大學簽訂策略聯盟【矽光子元件和應用】

Project title

Internal ID

103R7558

Principal Investigator

Start Date

January 1, 2014

End Date

December 31, 2014

Partner Organizations

Keywords

矽光學波導結構

準分子雷

射系統

二氧化矽模具輔助法

反應式離子蝕刻法

電漿增強化學氣相沉積

傳輸損耗

SOI 基板上

CMOS相容製程

silicon-core waveguide

excimer laser treatment

silicon dioxide mold-assisted treatment

reactive ion etching (RIE)

Plasms Enhanced Chemical Vapor Deposition

(PECVD)

propagation loss

silicon-on-insulator (SOI) substrates

CMOS-compatible processes,