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.National Taiwan University / 國立臺灣大學
Project / 研究計畫
以奈米機電製程為基礎之極紫外光平行直寫微影系統技術之研發-子計畫四:極紫外光直寫微影技術之真空系統設計與製造
以奈米機電製程為基礎之極紫外光平行直寫微影系統技術之研發-子計畫四:極紫外光直寫微影技術之真空系統設計與製造
Details
Primary Data
Project title
以奈米機電製程為基礎之極紫外光平行直寫微影系統技術之研發-子計畫四:極紫外光直寫微影技術之真空系統設計與製造
Internal ID
98-2221-E-002-166-
Principal Investigator
TIEN-TUNG CHUNG
Start Date
August 1, 2009
End Date
July 31, 2010
Partner Organizations
National Science and Technology Council