使用原子層沉積與氦離子束技術製作特徵尺寸小於5奈米且具高度有序的奈米結構於表面電漿子之應用

Project title

使用原子層沉積與氦離子束技術製作特徵尺寸小於5奈米且具高度有序的奈米結構於表面電漿子之應用

Internal ID

106-2112-M-002-002-MY3

Principal Investigator

Start Date

August 1, 2017

End Date

July 31, 2018

Partner Organizations

National Science and Technology Council