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.National Taiwan University / 國立臺灣大學
Project / 研究計畫
下世代技術節點的材料、製程、元件及電路熱模擬之關鍵技術-大型儀器(子計畫三):射頻基材偏壓增強型原子層沉積系統(先進原子層材料與模組技術)
下世代技術節點的材料、製程、元件及電路熱模擬之關鍵技術-大型儀器(子計畫三):射頻基材偏壓增強型原子層沉積系統(先進原子層材料與模組技術)
Details
Primary Data
Project title
下世代技術節點的材料、製程、元件及電路熱模擬之關鍵技術-大型儀器(子計畫三):射頻基材偏壓增強型原子層沉積系統(先進原子層材料與模組技術)
Internal ID
107-2218-E-002-046-
Principal Investigator
MIIN-JANG CHEN
Start Date
May 1, 2018
End Date
April 30, 2019
Partner Organizations
National Science and Technology Council