Project title
多電子束平行掃瞄微影系統設計-子計畫五：多電子束平行掃瞄微影系統之減振控制
Internal ID
95-2221-E-002-310-MY3
Principal Investigator
Start Date
August 1, 2007
End Date
July 31, 2008
Partner Organizations
多電子束平行掃瞄微影系統設計-子計畫五：多電子束平行掃瞄微影系統之減振控制
Keywords
電子束微影
震動控制
慣質
擾動響應分解
強韌控制
Electron Beam Projection Lithography (EPL)
vibration control
inerter
Disturbance Response Decoupling(DRD)
robust control