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.National Taiwan University / 國立臺灣大學
Project / 研究計畫
多電子束平行掃瞄微影系統設計-子計畫三:多電子束平行掃瞄系統之電磁透鏡、遮黑板與資料傳輸系統研發(I)
多電子束平行掃瞄微影系統設計-子計畫三:多電子束平行掃瞄系統之電磁透鏡、遮黑板與資料傳輸系統研發(I)
Details
Primary Data
Project title
多電子束平行掃瞄微影系統設計-子計畫三:多電子束平行掃瞄系統之電磁透鏡、遮黑板與資料傳輸系統研發(I)
Internal ID
95-2221-E-002-308-
Principal Investigator
KUEN-YU TSAI
Start Date
August 1, 2006
End Date
July 31, 2007
Partner Organizations
National Science and Technology Council