Project title
低熱膨脹鎳鐵合金(Invar36)彈性光機支撐結構製程技術開發研究
Internal ID
103-2622-E-002-022-CC3
Principal Investigator
Start Date
June 1, 2014
End Date
May 31, 2015
Partner Organizations
低熱膨脹鎳鐵合金(Invar36)彈性光機支撐結構製程技術開發研究
Keywords
低熱膨脹合金
雙足支撐結構
low thermal expansion alloy
bipod flexure