Project title
次波長貝索光束直寫儀的研究與開發：從奈米光學元件的理論與製造到系統性能驗證的研究
Internal ID
97-2221-E-002-159-MY3
Principal Investigator
Start Date
August 1, 2008
End Date
July 31, 2009
Partner Organizations
次波長貝索光束直寫儀的研究與開發：從奈米光學元件的理論與製造到系統性能驗證的研究
Keywords
表面電漿
非均質偏極態光源
貝索
光束
超長焦深
貝索
光束直寫儀
Surface plasmon
inhomogeneous polarization light
Bessel beam
ultralong depth of focus
Bessel Beam Laser Writer