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.National Taiwan University / 國立臺灣大學
Project / 研究計畫
12吋晶圓製造服務佳化工具與標竿環境之研發-子計畫五:多步程製造系統演進最佳化方法及應用於晶圓廠良率提昇之研究(1/3)
12吋晶圓製造服務佳化工具與標竿環境之研發-子計畫五:多步程製造系統演進最佳化方法及應用於晶圓廠良率提昇之研究(1/3)
Details
Primary Data
Project title
12吋晶圓製造服務佳化工具與標竿環境之研發-子計畫五:多步程製造系統演進最佳化方法及應用於晶圓廠良率提昇之研究(1/3)
Internal ID
92-2213-E-002-100-
Principal Investigator
ARGON CHEN
Start Date
August 1, 2003
End Date
July 31, 2004
Partner Organizations
National Science and Technology Council