Project title
多電子束平行掃瞄微影系統設計-子計畫五：多電子束平行掃瞄微影系統之減振控制
Internal ID
95-2221-E-002-310-MY3
Principal Investigator
Start Date
August 1, 2006
End Date
July 31, 2007
Partner Organizations
多電子束平行掃瞄微影系統設計-子計畫五：多電子束平行掃瞄微影系統之減振控制
Keywords
多軸電子束微影
振動控制
Electron Beam Projection Lithography
EPL
vibration control