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.National Taiwan University / 國立臺灣大學
Project / 研究計畫
以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發-總計畫:以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發
以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發-總計畫:以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發
Details
Primary Data
Project title
以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發-總計畫:以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發
Internal ID
98-2221-E-002-164-MY3
Principal Investigator
JIA-YUSH YEN
Start Date
August 1, 2009
End Date
July 31, 2010
Partner Organizations
National Science and Technology Council