薄膜機械特性及殘留應力之反算偵測(3/3)

Date Issued

2005

Date

2005

Author(s)

DOI

932212E002001

URI

http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/21730

Publisher

臺北市：國立臺灣大學應用力學研究所

Type

report

File(s)

Name

932212E002001.pdf

Size

2.59 MB

Format

Adobe PDF

Checksum

(MD5):ee5172dc47e89db7a23d48591d5819b5