微器件表面3D形貌的新型微納米測量系統

Resource

計量學報,1(1),12-17.

Journal

計量學報

Journal Volume

1

Journal Issue

1

Pages

12-17

Date Issued

2006-01

Date

2006-01

Author(s)

陳葉金

范光照

劉玉聖

URI

http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/217074

Type

journal article