1.55 μm Current-injected Quantum-well Microdisk Lasers
Date Issued
2011
Date
2011
Author(s)
Kao, Chung-Min
Abstract
我們成功的使用磷砷化銦鎵量子井作為主動層材料,製作出直徑為12μm大小的電注入微碟雷射,並量測到模態間距約16μm至18μm,與微碟的尺寸符合來證實為迴音廊模態。此外,我們也進行變溫量測,以觀察並討論到量子井和模態紅移的現象。
在本篇論文中,我們主要對於兩種樣品製程作比較。一為過去所使用的乾式及濕式蝕刻製程,另一樣品則在兩者之間多加入一次濕式蝕刻,對於主動層側向暴露的表面做處理,嘗試去減少外圍的缺陷原子層。
對於未經濕蝕刻表面處理的量子井微碟雷射其78K 的臨界電流為53.7μA,Q 值約為4400,可操作到最高溫度為250K,該溫度臨界電流為765.9μA,其特徵溫度為49K。而經濕蝕刻表面處理的量子井微碟雷射78K 的臨界電流為83μA,Q 值為3650,能操作到最高溫度為225K,臨界電流為618.5μA,其特徵溫度為68K。
最後,探討了由於蝕刻支柱寬度對臨界溫度的影響。
在本篇論文中,我們主要對於兩種樣品製程作比較。一為過去所使用的乾式及濕式蝕刻製程,另一樣品則在兩者之間多加入一次濕式蝕刻,對於主動層側向暴露的表面做處理,嘗試去減少外圍的缺陷原子層。
對於未經濕蝕刻表面處理的量子井微碟雷射其78K 的臨界電流為53.7μA,Q 值約為4400,可操作到最高溫度為250K,該溫度臨界電流為765.9μA,其特徵溫度為49K。而經濕蝕刻表面處理的量子井微碟雷射78K 的臨界電流為83μA,Q 值為3650,能操作到最高溫度為225K,臨界電流為618.5μA,其特徵溫度為68K。
最後,探討了由於蝕刻支柱寬度對臨界溫度的影響。
Subjects
quantum well
current-injected
microdisk laser
Type
thesis
File(s)
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Name
ntu-100-R98941100-1.pdf
Size
23.32 KB
Format
Adobe PDF
Checksum
(MD5):3a9969f1a80e6fca58bbe57d48ae1c73