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College of Engineering / 工學院
Mechanical Engineering / 機械工程學系
精簡微機電元件模型之建立與動態反應之研究
Details
精簡微機電元件模型之建立與動態反應之研究
Date Issued
2002
Date
2002
Author(s)
楊燿州
DOI
902218E002031
URI
http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15809
Abstract
本篇文章的主旨是將動態模型，藉由有限差分 法(Finite Difference Method)計算出的解，建構 出來有效率且精確度高的精簡模型，用此精簡 模型分析動態系統，可用來分析動態方程式為 非線性且藕合的系統。精簡模型所建構的方式 是紀錄數次有限差分的結果(snapshot)，經由 Karhunen-Loeve Decomposition 求出精簡 模型。此精簡模型可有效率且高精確的模擬出 動態系統暫態反應。並以微機電元件壓力感測 器(pressure sensor)作為驗證，精簡模型計算出 的結果，平均誤差<1%，計算的速度(speedup factor)可達到5 以上，可驗證降階模型具有高 精確度與高效率。
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Subjects
模型降階演算法
微機電系
統
Karhunen-Loeve Decomposition
Publisher
臺北市：國立臺灣大學機械工程學系暨研究所
Type
report
File(s)
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Name
902218E002031.pdf
Size
193.08 KB
Format
Adobe PDF
Checksum
(MD5):7e53e4a724f22a43a7627a23bca1f04b
