Network Ready Semiconductor Manufacturing Cluster Tools-Development of Network Ready Metrology Unit: Ellipsometer Interface and Remote User Interface
Date Issued
2000-07-31
Date
2000-07-31
Author(s)
DOI
892218E002008
Abstract
本子計畫係配合總計畫--"具網路連結功能之半導體製造集結式機台(Network Ready Semiconductor Manufacturing Cluster Tools)"提出的主要目的在進行網路式量測單元之開發，期望將集結式機台之其中一槽當作橢偏儀(ellipsometer)量測槽，以利半導體製程設備之線上檢測。由於總經費之限制，本子計畫目前以進行先期建構橢偏儀介面及遠端使用者介面為主要階段目標, 並於第二年嘗試自組低成本之微型橢偏儀，並建立與半導體製造集結式機台整合之相關軟硬體,目前已有初步成果, 並持續不斷改進研製目標當中。
在子計劃四中, 將集結式機台之其中一槽當作橢偏儀量測槽，由於目前之半導體製造集結式機台之各槽上方有一觀測窗隔開，致使欲實施能夠變更入射角之橢偏儀量測變的極為困難。綜觀各橢偏儀製造商, 雖然迄今尚無可透過一個觀測窗來實施變更入射角量測之商用橢偏儀, 但本計劃歷經第一年之系統分析與研究，發明出一種利用像差校正之準拋物面鏡式迷你橢偏儀，將可以解決上述所提欲透過觀測窗進行入射角變更之橢偏儀量測難題，且同時可以進行變入射角橢偏術之測量, 第二年度計劃目標橢偏儀原型機PEARL已試製完成, 取得中華民國發明專利，並正由國科會申請美國專利中，也完成系統與集結式機台光機設計硬體介面參數整合工作, 目前於系統上實施光學調校與薄膜量測工作, 以期完備系統功能與提高重覆性，若此目標一旦施行成功，將為全球首次解決此問題。
Publisher
臺北市：國立臺灣大學應用力學研究所
Type
report
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(MD5):8cef0cdb7e22f7e31fdc4d94b26d4ace