MEMS and Nanotechnology Multi-functional Microscope Development
Date Issued
2004-07-31
Date
2004-07-31
Author(s)
DOI
922212E002059
Abstract
隨著微機電(MEMS)、奈米科技(Nano-Technology)以及生物科技的蓬勃發
展，運用顯微技術來發展進一步檢測功能之儀器不勝枚舉，顯微技術經過多年之
發展與改進，也已成為一系列重要的精密量測方法與架構。在所有顯微系統中，
光學顯微鏡除了觀察方便、容易使用外，又由於其可作非接觸量測、且不須事先
對試件做處理，因此具有不會傷害待測物，不須於特定的環境下做量測之優異特
性，故其應用範疇最為廣泛。
本計畫於兩年前提出創新多功光學顯微系統，希望能結合雷射都卜勒干涉技
術、Confocal Laser Scan Microscope 、Particle Size Analyzer、Lateral Resolution
Enhance、以及本實驗室於前期計劃所發展出來的微光機電元件噴墨製程系統
等，因此不僅能量測動態與靜態的微機電與奈米系統，同時在經過過去兩年之努
力，目前也已開始嘗試運用駐波(Standing wave)干涉之方法來突破傳統遠場光學
因繞射極限所造成的解析度限制，以瞭解及結合近年來各種特殊光學量測功能與
突破繞射極限之多種基礎物理方法之正面互動關係。
整體而言，本計畫執行的長期目標，乃是要求能夠建構出一套能夠量測微機
電與奈米級系統之多功顯微量測系統，並配合本研究團隊發展出來的微光機電元
件噴墨製程系統，提供具微米甚至奈米級之精確且穩定的量測系統。
Publisher
臺北市：國立臺灣大學應用力學研究所
Type
report
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922212E002059.pdf
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