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College of Engineering / 工學院
Mechanical Engineering / 機械工程學系
以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發, 子計畫五:極紫外光直寫微影系統之伺服控制
Details
以波帶片陣列為基礎之極紫外光直寫微影系統之研發, 子計畫五:極紫外光直寫微影系統之伺服控制
Resource
行政院國科會工程處控制學門99年度成果發表會暨SIRCon2011
Journal
行政院國科會工程處控制學門99年度成果發表會暨SIRC
Pages
-
Date Issued
2011
Date
2011
Author(s)
王富正
謝錦輝
蔡彥臣
URI
http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/246699
Type
conference paper