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College of Engineering / 工學院
Mechanical Engineering / 機械工程學系
微型諧振陀螺儀之研發(2/3)─總計畫
Details
微型諧振陀螺儀之研發(2/3)─總計畫
Date Issued
1998
Date
1998
Author(s)
周元昉
DOI
872218E002018
URI
http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15612
Abstract
研發一軸對稱殼形式的微型諧振陀螺 儀是本計畫的目標。此陀螺儀的微結構將 以矽的微加工技術製作，其驅動、感測與 補償電路必須積體電路化，並與微結構共 同製作於同一晶片上。經初步設計出一直 徑1000mm殼厚2mm之半球殼多晶矽陀螺 儀，發現在適當大小的基座時其參考振動 模態可為最低的振動模態，其固有頻率約 為23kHz，第七模態才是困擾環狀陀螺儀 的平移剛體模態， 且其固有頻率高達 120kHz 以上，因此其機械性能遠較現有的 各式微型陀螺儀為佳，值得努力研發。本 年度計畫已進入細部設計階段，目前已完 成感測與控制迴路設計，並確定補償與判 讀方法。為了進行陀螺儀微結構之動態特 性測試，本計畫研發了一個底座激振裝 置，可提供大於100 kHz 的振源供模態測 試之用，輸入輸出皆以都普勒雷射測振儀 作非接觸量測，所以不干擾待測系統。在 軸對稱薄殼的製作上，目前已經可以製成 固定於晶圓上的半球殼，提高其軸對稱度 是進一步努力的目標。
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Subjects
軸對稱
陀螺儀
諧振
微加工
多晶矽
Publisher
臺北市：國立臺灣大學機械工程學系暨研究所
Type
report
File(s)
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Name
872218E002018.pdf
Size
82.53 KB
Format
Adobe PDF
Checksum
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