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College of Engineering / 工學院
Mechanical Engineering / 機械工程學系
受擠薄膜式阻尼效應在多孔式微機電系統之研究
Details
受擠薄膜式阻尼效應在多孔式微機電系統之研究
Date Issued
2001
Date
2001
Author(s)
楊燿州
DOI
902218E002024
URI
http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15807
Abstract
本計劃使用模型降階演算法（Arnoldi model order reduction algorithm），來 計算受擠薄膜式阻尼在多孔式微機電系統 的效應。此方法所產生之精簡模型，不但 可與電路模擬軟體相結合來做系統整合之 暫態計算及頻率分析，更可將計算效率提 高百倍以上。由於多孔式平行板電容式的 元件結構非常複雜，電腦的計算資源往往 無法有效支援。本研究的之加速計算的技 巧，可將以往無法計算的系統，在極短的 時間內求出其結果。
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Subjects
模型降階演算法
受擠薄膜式阻
尼
多孔式平行板
Publisher
臺北市：國立臺灣大學機械工程學系暨研究所
Type
report
File(s)
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Name
902218E002024.pdf
Size
50.5 KB
Format
Adobe PDF
Checksum
(MD5):91c5077b04209f9e8b3a1c65eef675e6
