形狀記憶合金驅動之微形幫浦
Date Issued
2004
Date
2004
Author(s)
DOI
922212E002015
Abstract
鈦鎳形狀記憶合金(TiNi SMAs)由於具
有優異的形狀記憶效應(SME)及超彈
性(PE),此種特性可應用於微機械
(MEMS)㆗之微幫浦(Micropump)、致
動器(Actuator) 及流量控制(Flow
Control)等元件㆗,因此需要製造可精
密控制成分之鈦鎳合金(即可精確控制
鈦鎳合金之變態溫度),同時具有優良
形狀記憶特性、缺陷少且易於再加工
至所需尺寸及厚度且兩面皆光面之鈦
鎳形狀記憶合金薄膜與鈦鎳形狀記憶
合金箔來驅動無閥式擴散器幫浦。本
年度計劃主要探討鈦鎳合金薄膜與合
金箔之機械與材料特性。
Publisher
臺北市:國立臺灣大學應用力學研究所
Type
report
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Name
922212E002015.pdf
Size
1.87 MB
Format
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