Publication: Deposition of silicon carbon nitride films by ion beam sputtering
Loading...
Date
1999
Authors
Wu, J. J.
YING-CHIH LIAO;Ling, K. J.;Kuo, C. T.;Hwa, L. G.;Chen, K. H.;Chen, L. C.;Lu, T. R.;Liao, Y. C.;Wu, C. T.;Wu, J. J.
Wu, C. T.
Liao, Y. C.
Lu, T. R.
Chen, L. C.
Chen, K. H.
Hwa, L. G.
Kuo, C. T.
YING-CHIH LIAO