雙軸超高精度磁浮定位機構之驅動量測與設計─子計畫三:高精密度量測與平台運動控制(3)

Date Issued

1999-07-31

Date

1999-07-31

Author(s)

DOI

882213E002085

URI

http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/7700

Publisher

臺北市：國立臺灣大學電機工程學系暨研究所

Type

report

File(s)

Name

882213E002085.pdf

Size

376.4 KB

Format

Adobe PDF

Checksum

(MD5):b84919df3eb4a584fb21070d15a47438