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College of Engineering / 工學院
Mechanical Engineering / 機械工程學系
針對不可預知之晶圓製造環境因素提出具前瞻策略之批量機器派工法則
Details
針對不可預知之晶圓製造環境因素提出具前瞻策略之批量機器派工法則
Date Issued
2001
Date
2001
Author(s)
謝淑華
DOI
892212E002086
URI
http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15695
Abstract
晶圓製造中成批加工時間佔整個晶圓製造的30%以上，主要原因為加工時間 長，且晶圓在成批時，批量小時造成產能的浪費，批量大時造成晶圓批等候時間 過長，使得成批加工往往成為生產系統中的瓶頸。因此在文獻中不乏對成批派工 法則之探討。具前擔策略的成批派工法則如DBH、NACH、MCR、DJAH 等的 發展已相當成熟，然而欠缺對實際生產環境因子，例如晶圓再加工(rework)、機 器當機、人員疏忽、晶圓遺失等的考量，以致派工結果並不如預期。因此本研究 將利用實驗設計方法學探討實際生產環境因子下最適宜之前瞻策略派工法則。 本研究首先修正只適用於單機加工的派工法則，將之延伸為多機加工的派工 法則。其次，在單產品多機器與多產品多機器兩種生產系統中以實驗設計方法學 進行探討，利用生產績效之反應曲面模型進行評估比較，經由分析得知在不同的 生產環境下有不同的最佳派工法則。基於此結論，進而提出一個尋求最適宜生產 環境之派工法則的方法學，期讓晶圓製造者在生產環境變動時，能適時的採用最 適宜之派工法則，以使得派工法則的運用更具彈性。
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Subjects
成批
派工法則
前瞻策略
實驗設計
晶圓製造
Publisher
臺北市：國立臺灣大學機械工程學系暨研究所
Type
report
File(s)
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Name
892212E002086.pdf
Size
49.74 KB
Format
Adobe PDF
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