Study on the Key Technologies of CMOS MEMS

本研究團隊之研究主軸為「以CMOS-MEMS 發展具無線傳輸能力之單晶片微機電系統技
術」(CMOS-MEMS technologies for single-chip wireless microsystems )，然在計畫中將不包含
DSP，因為這一部份微機電技術無法提供附加價值，所以將來再由產業界將現成之DSP 電路
併入晶片;微型電源(power)部分目前已由產業界贊助進行研究中，也不列入本研究計畫。以
目前射頻前端電路為例，微機電技術不僅可提供多樣性、高效能的元件特性，在目前普遍強
調微型化、輕量化的時代趨勢之下亦可確實有效地提供元件設計更多的揮灑空間。現今已被
證實具有相當潛力之通訊用前瞻元件約有帶通濾波器(band-pass filter);或是能提昇現有固態
電路之性能，如射頻開關(RF switch)、低雜訊放大器(low-noise amplifier, LNA)、混波器
(mixer)、壓控振盪器(voltage-controlled oscillator, VCO)、功率放大器(power amplifier, PA)、
電感及可變電容(L/C)等。研究計畫之目標是驗證單晶片無線微機電系統(single-chip wireless
microsystems)技術，並運用CMOS-MEMS 作為共同之技術平台，將無線傳輸與微機電系統
整合在同一片晶片之上。