模組化潔淨室應用於晶圓廠之規劃與評估

Date Issued
2000
Date
2000
Author(s)
謝淑華
DOI
892212E002064
URI
Abstract
為了加速半導體上市的速度，工 研院機械所吳顧問伯奮先生提出一以 模組生產為架構的概念廠，因應目前 半導體產業低稼動率、高在製品庫 存、巨額機器設備投資、過長的設廠 時間等等的問題。本研究主要目的在 於應用離散系統模擬，探討一個以此 模組生產化方式為架構的概念廠的可 行性。研究項目包括：1. 此概念廠在 高當機率與長修護時間下，是否仍可 維持合理的生產力? 2. 此概念廠所需 要的機器的機台數是否較多? 3. 概念 廠的機器應如何排列? 在本研究中， 一個模擬工廠模式將被建立，利用此 模式作敏感度分析，借此驗證此模組 化生產概念廠的可行性，以及提出具 體數據說明其優缺點，進而落實模組 化半導體概念廠的構想，期能提供業 界一清楚的模組生產為架構的概念廠 藍圖。
Subjects
模組生產工廠
半導體製造
業
平均當機時間
平均修護時間
Publisher
臺北市：國立臺灣大學機械工程學系暨研究所
Type
report
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892212E002064.pdf

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