模組化潔淨室應用於晶圓廠之規劃與評估

為了加速半導體上市的速度，工
研院機械所吳顧問伯奮先生提出一以
模組生產為架構的概念廠，因應目前
半導體產業低稼動率、高在製品庫
存、巨額機器設備投資、過長的設廠
時間等等的問題。本研究主要目的在
於應用離散系統模擬，探討一個以此
模組生產化方式為架構的概念廠的可
行性。研究項目包括：1. 此概念廠在
高當機率與長修護時間下，是否仍可
維持合理的生產力? 2. 此概念廠所需
要的機器的機台數是否較多? 3. 概念
廠的機器應如何排列? 在本研究中，
一個模擬工廠模式將被建立，利用此
模式作敏感度分析，借此驗證此模組
化生產概念廠的可行性，以及提出具
體數據說明其優缺點，進而落實模組
化半導體概念廠的構想，期能提供業
界一清楚的模組生產為架構的概念廠
藍圖。