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模組化潔淨室應用於晶圓廠之規劃與評估

Date Issued
2000
Date
2000
Author(s)
謝淑華
DOI
892212E002064
URI
http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15685
Abstract
為了加速半導體上市的速度,工 研院機械所吳顧問伯奮先生提出一以 模組生產為架構的概念廠,因應目前 半導體產業低稼動率、高在製品庫 存、巨額機器設備投資、過長的設廠 時間等等的問題。本研究主要目的在 於應用離散系統模擬,探討一個以此 模組生產化方式為架構的概念廠的可 行性。研究項目包括:1. 此概念廠在 高當機率與長修護時間下,是否仍可 維持合理的生產力? 2. 此概念廠所需 要的機器的機台數是否較多? 3. 概念 廠的機器應如何排列? 在本研究中, 一個模擬工廠模式將被建立,利用此 模式作敏感度分析,借此驗證此模組 化生產概念廠的可行性,以及提出具 體數據說明其優缺點,進而落實模組 化半導體概念廠的構想,期能提供業 界一清楚的模組生產為架構的概念廠 藍圖。
Subjects
模組生產工廠
半導體製造
業
平均當機時間
平均修護時間
Publisher
臺北市:國立臺灣大學機械工程學系暨研究所
Type
report
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892212E002064.pdf

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33.71 KB

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