微型諧振陀螺儀之研發(2/3)─子計畫一:微型諧振陀螺儀軸對稱薄殼結構的設計與測試
Date Issued
1998
Date
1998
Author(s)
周元昉
DOI
872218E002019
Abstract
本計畫針對第一期計畫初步設計之直徑
1000mm 殼厚2mm 之半球殼多晶矽陀螺
儀,探討此陀螺儀驅動與感測方法,並針
對非理想軸對稱情況,研究其行為差異與
平衡補償方法。
在功能上,軸對稱殼式陀螺儀不僅能
用於直接轉速量測,亦能用於直接轉角量
測;本文發現,在直接轉速感測方法中,
強制平衡式在反應時間與感測線性度上的
表現均優於開放迴路式;而在直接轉角感
測方法中,週期驅動式的可行性則較脈衝
驅動式高;此外,直接轉角感測可避免因
高感測門檻所帶來的量測限制,以及減少
因積分轉速結果所引發的漂移問題。
在驅動、感測與平衡補償上,本計畫
採用具有高靈敏度、低能量消耗與熱漂移
現象較不顯著的電容式,再結合諧振本體
高品質因子的特性,使得此陀螺儀系統有
相當優異的表現。
Subjects
軸對稱
陀螺儀
諧振
微加工
多晶矽
Publisher
臺北市:國立臺灣大學機械工程學系暨研究所
Type
report
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Name
872218E002019.pdf
Size
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