微機械在微流量量測的應用

Date Issued
1998
Date
1998
Author(s)
DOI
872212E002059
URI
Abstract
本計畫目的在研究壓電薄膜的製 作與性質研究，並利用此為基礎設計 壓力感測器、信號產生器及接收器， 在利用這些元件對微流量量測技術作 一初步研究。 隨著高科技產業的進步，利用微 機電技術製作的元件在尺寸上大幅縮 小且因採用IC 批量生產製程，單一元 件成本可有效降低，具有強大的市場 潛力。但因尺寸縮小，故驅動方式也 必須改變，其中壓電材料因具備有機 電能互換的能力，而相當受到重視。 本計畫便希望能提出一較好的壓電薄 膜製作程序，並以此為基礎設計出能 夠實際應用於微流量量測之壓力感測 器。
Subjects
微機電技術
壓電薄膜
微
流量計
Publisher
臺北市：國立臺灣大學機械工程學系暨研究所
Type
report
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872212E002059.pdf

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