高速虛擬表面聲波(HVPSAW)之波傳特性研究及應用
Date Issued
2002
Date
2002
Author(s)
DOI
902611E002039
Abstract
壓電晶體為表面聲波元件(SAW
Device)最重要的基底材料,不同切割及波
傳角度皆會影響表面聲波的波傳特性。本
研究利用矩陣法(matrix method),推導半無
限域之壓電晶體的表面聲波(SAW)、虛擬
表面波(PSAW)(波速趨近橫波波速)、高速
虛擬表面波(HVPSAW)(波速趨近縱波波
速),並分析此三種表面波的波傳特性,求
出適當的切割及波傳角度,作為表面聲波
元件製作時基底材料選擇之基礎。
Subjects
表面聲波
虛擬表面波
高速虛
擬表面波
擬表面波
Publisher
臺北市:國立臺灣大學工程科學及海洋工程學系暨研究所
Type
report
File(s)![Thumbnail Image]()
Loading...
Name
902611E002039.pdf
Size
210.22 KB
Format
Adobe PDF
Checksum
(MD5):93814361aba3628f5357b28c788c58f8
