Repository logo
  • English
  • 中文
Log In
Have you forgotten your password?
  1. Home
  2. College of Science / 理學院
  3. Physics / 物理學系
  4. Split gate fabrication by electron beam lithography on GaAs/AlGaAs system for 1D quantum wire conductance
 
  • Details

Split gate fabrication by electron beam lithography on GaAs/AlGaAs system for 1D quantum wire conductance

Date Issued
2005
Date
2005
Author(s)
Tsai, Ming-Wei
DOI
zh-TW
URI
http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/54613
Abstract
在本論文中第一章會針對各種不同的電子束微影術, 以及電子束微影的鄰近效果 ( Proximity effect ), 還有分閘法所形成的量子線在許多論文當中所得到的結果做簡單的介紹. 第二章中會對一維系統的傳輸介紹其理論的基礎. 在第三章中會詳細敘述分閘法 ( split-gate method ) 的製作過程. 此方法需要繁複的製作流程與精確的參數控制, 方能製作出結構良好的樣品. 其中流程包括有光微影術, 金屬之蒸鍍與剝離, 回火, 第二次光微影與蝕刻來製作出有形狀之二維電子氣和金屬歐姆接點. 確定金屬接觸點與二維電子氣有形成良好的歐姆接點後, 再利用電子束微影, 電子顯微鏡觀察曝光結果和第二次金屬蒸鍍與剝離和電子顯微鏡觀察蒸鍍結果來精確地製作出根據不同樣品所需要的分閘區域. 樣品製作完成後, 以金屬接合 ( bonding ) 的方式將所有需要量測的金屬接點連接出來以便後續的電性量測. 最後再將樣品置入低溫 He3 系統以減低熱電子效應來觀察電子在同一次能帶 ( subband ) 或次能帶與次能帶之間的量子化傳輸現象. 分閘的形狀與間距, 二維電子氣的深度以及紅光照射的效應對一維傳輸平台的影響都會在本論文中做詳細的介紹.
Subjects
分閘
電子束微影
量子線
split gate
electron beam lithography
quantum wire
Type
thesis
File(s)
Loading...
Thumbnail Image
Name

ntu-94-P92222005-1.pdf

Size

23.53 KB

Format

Adobe PDF

Checksum

(MD5):9b733a06bd32e22bb75cf3de758352c3

臺大位居世界頂尖大學之列,為永久珍藏及向國際展現本校豐碩的研究成果及學術能量,圖書館整合機構典藏(NTUR)與學術庫(AH)不同功能平台,成為臺大學術典藏NTU scholars。期能整合研究能量、促進交流合作、保存學術產出、推廣研究成果。

To permanently archive and promote researcher profiles and scholarly works, Library integrates the services of “NTU Repository” with “Academic Hub” to form NTU Scholars.

總館學科館員 (Main Library)
醫學圖書館學科館員 (Medical Library)
社會科學院辜振甫紀念圖書館學科館員 (Social Sciences Library)

開放取用是從使用者角度提升資訊取用性的社會運動,應用在學術研究上是透過將研究著作公開供使用者自由取閱,以促進學術傳播及因應期刊訂購費用逐年攀升。同時可加速研究發展、提升研究影響力,NTU Scholars即為本校的開放取用典藏(OA Archive)平台。(點選深入了解OA)

  • 請確認所上傳的全文是原創的內容,若該文件包含部分內容的版權非匯入者所有,或由第三方贊助與合作完成,請確認該版權所有者及第三方同意提供此授權。
    Please represent that the submission is your original work, and that you have the right to grant the rights to upload.
  • 若欲上傳已出版的全文電子檔,可使用Open policy finder網站查詢,以確認出版單位之版權政策。
    Please use Open policy finder to find a summary of permissions that are normally given as part of each publisher's copyright transfer agreement.
  • 網站簡介 (Quickstart Guide)
  • 使用手冊 (Instruction Manual)
  • 線上預約服務 (Booking Service)
  • 方案一:臺灣大學計算機中心帳號登入
    (With C&INC Email Account)
  • 方案二:ORCID帳號登入 (With ORCID)
  • 方案一:定期更新ORCID者,以ID匯入 (Search for identifier (ORCID))
  • 方案二:自行建檔 (Default mode Submission)
  • 方案三:學科館員協助匯入 (Email worklist to subject librarians)

Built with DSpace-CRIS software - Extension maintained and optimized by 4Science