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College of Engineering / 工學院
Engineering Science and Ocean Engineering / 工程科學及海洋工程學系
應用於極紫外光平行直寫微影之光源相關技術的理論研究和實驗設計
Details
應用於極紫外光平行直寫微影之光源相關技術的理論研究和實驗設計
Journal
國科會工程處控制學門99年度成果發表會
Date Issued
2011
Author(s)
章立仁
朱冠宇
李佳翰*
李佳翰
URI
https://scholars.lib.ntu.edu.tw/handle/123456789/590892
Type
conference paper