Direct writing of silicon gratings with highly coherent ultraviolet laser

Resource
Applied Physics Letters 71 (17): 2442-2444
Journal
Applied Physics Letters
Journal Volume
71
Journal Issue
17
Pages
2442-2444
Date Issued
1997
Author(s)
Chao, C.-Y.
Chen, C.-Y.
Liu, C.-W.
Chang, Y.
Yang, C.C.
URI
Type
journal article

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