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College of Engineering / 工學院
Chemical Engineering / 化學工程學系
由石化原料製備深次微米IC工業特用化學品(III)─總計畫及子計畫一:由MMA系列共聚合物製備193nm Deep UV光阻劑
Details
由石化原料製備深次微米IC工業特用化學品(III)─總計畫及子計畫一:由MMA系列共聚合物製備193nm Deep UV光阻劑
Date Issued
2001
Date
2001
Author(s)
謝國煌
DOI
89CPC7002015
URI
http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/9285
Publisher
臺北市:國立臺灣大學化學工程學系暨研究所
Type
report