微小質量動態量測系統之設計開發

本研究目的在於設計開發一個適合
於自動化量測之微小質量量測系統。為配
合自動化量測之需求，採用電容式量測原
理作為質量量測系統之基本作用原理。以
電容薄膜電極作為質量負載台，質量負荷
時薄膜的共振特性會產生改變。進行振動
式量測時，薄膜的共振頻率可以透過質量
負載及最大形變之關係近似解進行估算。
受質量負載的薄膜以各種激振方式產生振
動，薄膜在自由振動情形，分別以光學式
及電容式量測分析其在質量改變下之頻率
響應變化情形。將質量負載振動薄膜與電
極薄膜之功能獨立化，透過電容式量測器
可以準確測得因質量負載改變所產生之振
動薄膜共振音波變化。