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College of Engineering / 工學院
Mechanical Engineering / 機械工程學系
微小質量動態量測系統之設計開發
Details
微小質量動態量測系統之設計開發
Date Issued
2003
Date
2003
Author(s)
黃光裕
DOI
912212E002081
URI
http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/15839
Abstract
本研究目的在於設計開發一個適合 於自動化量測之微小質量量測系統。為配 合自動化量測之需求，採用電容式量測原 理作為質量量測系統之基本作用原理。以 電容薄膜電極作為質量負載台，質量負荷 時薄膜的共振特性會產生改變。進行振動 式量測時，薄膜的共振頻率可以透過質量 負載及最大形變之關係近似解進行估算。 受質量負載的薄膜以各種激振方式產生振 動，薄膜在自由振動情形，分別以光學式 及電容式量測分析其在質量改變下之頻率 響應變化情形。將質量負載振動薄膜與電 極薄膜之功能獨立化，透過電容式量測器 可以準確測得因質量負載改變所產生之振 動薄膜共振音波變化。
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Subjects
微小質量
動態質量量測
振動
原理
量測系統
電容式量測器
Publisher
臺北市：國立臺灣大學機械工程學系暨研究所
Type
report
File(s)
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Name
912212E002081.pdf
Size
890.87 KB
Format
Adobe PDF
Checksum
(MD5):868479f5e5d7193691cd7724a54b1382
