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College of Engineering / 工學院
Applied Mechanics / 應用力學研究所
新式無閥門微幫浦之開發
Details
新式無閥門微幫浦之開發
Date Issued
2004
Date
2004
Author(s)
凃智凱
DOI
zh-TW
URI
http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/61890
Abstract
摘要 本研究利用微機電製程技術，成扒}發出新型無閥門微幫浦，此幫浦的工作原理主要是，利用微流道壁上所貼附的壓電片上下反覆震動作為流體驅動源，並於壓電片的上下游處放置兩個梯形擋體，或是前後不對稱擋體作為流體導向裝置。在製作過程首先以矽晶圓為基材，利用乾蝕刻方式製作出微流道與擋體，再將已開好流體注入孔的玻璃利用陽極鍵合方式封裝，最後再貼附上壓電片作為驅動源，即可完成無閥門微幫浦的製作。此微幫浦在工作電壓40V頻率3.1KHz方波的驅動下其能產生的最大背壓為1.2KPa、最大體積流率為155.85 。而以往文獻上所記載的微幫浦，製作過程多為繁雜且良率不易控制，因此不能達到產業界快速製造以及批次量產的目標，而本研究所製造出的新型無閥門幫浦，僅以一道光罩即完成製作，將可以改善以往的缺失，並且大幅降低製作成本。相信本研究將會對學術及工業在微機電領域微流體的操控與發展有實質上之助益。
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Subjects
微機電製程
無閥門微幫浦
壓電片
MEMS
PZT disc
valve-less pump
Type
thesis
File(s)
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Name
ntu-93-R91543064-1.pdf
Size
23.53 KB
Format
Adobe PDF
Checksum
(MD5):4411d329d29367a468124f5f095b75b6
