探針掃描式顯微鏡中探針控制法則之探討(1/3)

Date Issued

2004

Date

2004

Author(s)

DOI

922213E002042

URI

Abstract

原子力顯微鏡(AFM)是目前達到原子級解析度的重要量測工具之一，該系統利用保持探針與試片間的固定接觸力以追蹤試片的表面形變;因此，保持固定相互作用力的控制器在量測精度上便扮演極重要的角色。本篇實驗報告針對經由系統識別所建的控制系統來加以設計PID 控制器，並且討論經由控制器後的實驗結果。

Subjects

原子力顯微鏡

系統識別

PID 控制器

Publisher

臺北市：國立臺灣大學機械工程學系暨研究所

Type

report

File(s)

Name

922213E002042.pdf

Size

60.58 KB

Format

Adobe PDF

Checksum

(MD5):546ab20045080d04d6ced38a095831ea