快速熱機台設備及製程研發(1/3)─子計畫二:超高真空快熱化學沉積反應機台之製作與應用

Date Issued

2000-07-31

Date

2000-07-31

Author(s)

DOI

892218E002017

URI

http://ntur.lib.ntu.edu.tw//handle/246246/7801

Publisher

臺北市：國立臺灣大學電機工程學系暨研究所

Type

report

File(s)

Name

892218E002017.pdf

Size

574.3 KB

Format

Adobe PDF

Checksum

(MD5):bcb087067d25cea9af2f6293e0d59311