Removal of Fluoride from Aged Scrubbing Water in
Semiconductor Manufacturing Industries and Its Reuse (1/2)

Date Issued

2003-07-31

Date

2003-07-31

Author(s)

張慶源

DOI

912211E002025

URI

Abstract

本研究是以商業用之活性礬土及自行開發合成之吸附劑（MCM-41-Zr）來去除半導體產業中老化溼式洗滌水之氟化物，並針對影響處理效率之因子如：氟離子之初始濃度、pH值及其他因子進行探討，以期找出最適之處理操作條件。

Subjects

氧化鋁

氟離子

MCM-41-Zr

等溫吸附

吸附管柱

Publisher

臺北市：國立臺灣大學環境工程學研究所

Type

report

File(s)

Name

912211E002025.pdf

Size

367.51 KB

Format

Adobe PDF

Checksum

(MD5):afa4cef2063a9a6af9b9106c7238b757